申请/专利权人：深圳市原速光电科技有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856502U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型具体公开了一种加热盘，安装于工艺腔室内，工艺腔室呈圆柱状，加热盘包括旋转支撑架、多个盘体、盖板和多个第一加热元器件，旋转支撑架能够旋转；多个盘体呈圆环状间隔设置，且均安装于旋转支撑架，多个盘体均设有加热槽；盖板呈圆饼状，并设有多个呈圆环状间隔设置的第一避让槽，盖板与工艺腔室的侧壁配合并盖设于多个盘体上，多个第一避让槽一一对应地显露出多个加热槽；多个第一加热元器件与多个盘体一一对应连接，以能够对多个盘体的加热槽加热，根据本实用新型实施例的加热盘，拆装及维修更加方便。

主权项：1.加热盘，安装于工艺腔室内，所述工艺腔室呈圆柱状，其特征在于，所述加热盘包括：旋转支撑架，能够旋转；多个盘体，呈圆环状间隔设置，且均安装于所述旋转支撑架，多个所述盘体均设有加热槽；盖板，呈圆饼状，并设有多个呈圆环状间隔设置的第一避让槽，所述盖板与所述工艺腔室的侧壁配合并盖设于多个所述盘体上，多个所述第一避让槽一一对应地显露出多个所述加热槽；多个第一加热元器件，与多个所述盘体一一对应连接，以能够对多个所述盘体的所述加热槽加热。

全文数据：

权利要求：

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