申请/专利权人：国网黑龙江省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117949075A

主分类号：G01H9/00

分类号：G01H9/00;G01R31/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：自适应型膜片式EFPI传感器及局放超声信号检测系统，属于传感器领域，本发明为解决针对局放超声信号进行检测时缺少有效技术手段保证传感器的检测性能稳定问题。本发明局放超声信号检测系统包括EFPI传感器、一分二耦合器、激光器、光电转换器和数据采集终端；局放超声信号作用于声振敏感膜片；激光器发出的光束经过一分二耦合器进入光纤，再经准直镜输出准直光束至法珀腔；光束经过法珀腔的腔底和预制相位调节槽的槽底反射后形成具有光程差的两道光束，且携带膜片变形量信息，回传并干涉的光信号经光纤、一分二耦合器、光电转换器转换为电信号发送给数据采集终端，获取声振敏感膜片受到的局放超声信号。

主权项：1.自适应型膜片式EFPI传感器，其特征在于，包括光纤1、光纤准直镜2、毛细玻璃管3、法珀腔4、声振敏感膜片6和预制相位调节槽8；光纤1和光纤准直镜2共同设置在毛细玻璃管3内部，光纤1输出的光束经过光纤准直镜2准直后输出；声振敏感膜片6采用MEMS技术加工制备而成，声振敏感膜片6内部制备出法珀腔4，在法珀腔4的腔底中间位置制备预制相位调节槽8；声振敏感膜片6的腔开口侧与毛细玻璃管3的光纤准直镜侧扣合；在预制相位调节槽8的槽底和法珀腔4的腔底镀反射膜5；光纤准直镜2输出的准直光束进入法珀腔4，在法珀腔4的腔底和预制相位调节槽8的槽底反射后形成具有光程差的两道光束，这两道光束通过光纤准直镜2回传至光纤1尾纤端点处进行干涉，干涉光信号经过光纤1回传输出，将输出光束解调来获取声振敏感膜片6受到的局放超声信号。

全文数据：

权利要求：

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