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【发明公布】用于涂覆部件的沉积支撑装置和方法_通用电气公司_202311390288.3 

申请/专利权人:通用电气公司

申请日:2023-10-25

公开(公告)日:2024-04-30

公开(公告)号:CN117947395A

主分类号:C23C14/50

分类号:C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24

优先权:["20221027 US 63/419,779","20221129 US 18/070,834"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要:一种用于涂覆部件的沉积支撑装置和方法,该沉积支撑装置包括限定内部并且具有提供通向内部的开口的掩蔽容器。至少一个屏障板具有部件孔,其中部件延伸穿过部件孔,并且部件的第一部分位于内部内并且部件的第二部分在至少一个屏障板上方延伸。

主权项:1.一种沉积支撑装置,其特征在于,包括:掩蔽容器,所述掩蔽容器限定内部并且具有提供通向所述内部的开口;和至少一个屏障板,所述至少一个屏障板的尺寸被设计成装配到所述开口中并且限定部件孔,所述部件孔具有与部件的形状相符的轮廓,所述至少一个屏障板邻接所述部件或位于距所述部件预定距离处以限定偏移间隙;其中当所述部件位于所述部件孔内时,所述部件的第一部分位于所述至少一个屏障板下方并且在所述内部内,并且所述部件的第二部分在所述至少一个屏障板上方延伸。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 通用电气公司 用于涂覆部件的沉积支撑装置和方法

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