申请/专利权人：浙江柔震科技有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN117987780A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/14

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.05.07#公开

摘要：本发明公开了一种蒸镀系统和真空蒸镀设备，包括：蒸发槽，其内设置蒸发器皿，用于产生金属蒸汽；加热组件，用于加热蒸发器皿；以及输气管，输气管可在蒸发器皿形成的蒸发路径中往复摆动。本发明设置可往复摆动的输气管路结构，使得输出气流相对均匀的分布在金属蒸汽的路径上，提升均匀性。

主权项：1.一种蒸镀系统，包括：蒸发槽，其内设置蒸发器皿，用于产生金属蒸汽；加热组件，用于加热蒸发器皿；以及输气管，其特征在于，输气管可在蒸发器皿形成的蒸发路径中往复摆动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江柔震科技有限公司 蒸镀系统和真空蒸镀设备

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