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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
申请日：2020-01-29
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN113632211B
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;G01N21/64;G01N21/88
优先权：["20190328 JP 2019-062971"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要：检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；相机，其对来自发光元件的荧光中较基准波长更长的波长的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所摄像的荧光判定发光元件的好坏；且基准波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。
主权项：1.一种检查装置，其中，是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至所述对象物的激发光；第1摄像部，其对来自所述发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；判定部，其基于由所述第1摄像部所取得的第1荧光图像判定所述发光元件的好坏；光学元件，其将来自所述发光元件的荧光分离为较所述第1波长更长的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及第2摄像部，其对较所述第2波长更短的波长且包含于所述发光元件的正常荧光光谱的波长的荧光进行摄像，所述第1波长是所述发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。
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