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申请/专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日：2020-09-09
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112144017B
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.01.15#实质审查的生效;2020.12.29#公开
摘要：本发明涉及镀膜技术领域，特别涉及一种玻璃基板镀膜装置，包括蒸发源挡板、掩膜板和蒸发源，蒸发源挡板位于掩膜板和蒸发源之间，蒸发源挡板包括四个以上的遮挡板，四个以上的遮挡板之间相互滑动连接，掩膜板上设有两个以上的缓冲条，两个以上的缓冲条将掩膜板划分成若干个无缓冲区域，一个遮挡板对应一个无缓冲区域，通过设置缓冲条，能够避免各器件叠加造成突起与玻璃基板不能完全重叠，引起混色问题；四个以上的遮挡板之间相互滑动连接，以及缓冲条的配合，使得能够在一块玻璃基板上实现单色或全彩器件成膜，大大提高了器件研发过程中基板及材料消耗量，缩短了研发周期提高了设备利用率。
主权项：1.一种玻璃基板镀膜装置，其特征在于，包括蒸发源挡板、掩膜板和蒸发源，所述蒸发源挡板位于掩膜板和蒸发源之间，所述蒸发源挡板包括四个以上的遮挡板，四个以上的所述遮挡板之间相互滑动连接，所述掩膜板上设有两个以上的缓冲条，两个以上的所述缓冲条将掩膜板划分成若干个无缓冲区域，一个所述遮挡板对应一个无缓冲区域，所述掩膜板远离蒸发源挡板的一侧面上放置有待镀膜的玻璃基板；所述掩膜板包括中部镂空的掩膜框，所述掩膜框设置在蒸发源挡板上方，两个以上的所述缓冲条均设置在掩膜框远离蒸发源挡板的一侧面，所述掩膜框远离蒸发源挡板的一侧面上还依次叠放有两个以上的支撑条、两个以上的遮挡条和两个以上的掩膜条，相邻两个所述掩膜条之间通过一个遮挡条隔开，所述掩膜条上分布有两个以上的镀膜区域；所述遮挡板的数量为四个，所述缓冲条的数量为两个，四个所述遮挡板之间呈阵列分布，两个所述缓冲条之间相互垂直且将掩膜板划分成四个无缓冲区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种玻璃基板镀膜装置
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