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申请/专利权人：西安交通大学
申请日：2024-03-07
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118031844A
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24;G01B9/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明公开了一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法，首先通过干涉仪衍射产生的高精度波前对非球面镜进行相对测量；其次再多波长光源的基础上利用拍频原理产生大范围的等效波长，使精密测量可以更加灵活并适应不同场景，如大偏离或高分辨率测量需求；再次，提出机器视觉对准技术来校准光路，减小衍射光对准误差，提高波前与干涉图质量；最后通过使用随机两步相位提取技术，以高精度和高效率提取面形误差图。本发明可用于球面、非球面光学元件的面形测量，集成了机器视觉光路校准功能及随机2补相位提取方法，较传统干涉仪具有精度高、效率高、测量范围大、鲁棒性强等优势。
主权项：1.一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、通过干涉仪衍射产生的衍射波前对非球面镜进行相对测量，得到不同波长下被测镜面形信息；S2、在多波长光源的基础上，将步骤S1得到的被测镜面形信息通过拍频合成得到等效波长测量面形结果；S3、采用机器视觉光路对准技术，多波长激光束汇聚形成光斑，在光斑区域，除蚀刻针孔外，光束强度被衬底的Cr膜反射，然后成像光路将检测到汇聚光斑-衍射针孔的光路对准误差图案，光斑和针孔的空间定位误差表示为光路对准误差；获得光路对准误差图案，通过计算对应的中心偏移量校准误差，使用图像处理流程逐步处理光斑对准图案，获得中心误差，实现光路对准；S4、使用随机两步相位提取技术提取相位图并计算被测非球面面形，以高精度和高效率提取面形误差图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种基于多波长点衍射干涉术的非球面镜精密测量方法
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