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申请/专利权人：电子科技大学;山东春光磁电科技有限公司

摘要：一种NiZn铁氧体薄膜磁性能及取向生长的调控方法，属于磁性薄膜材料技术领域。本发明使用旋转喷涂设备，基于吸附‑旋转‑加热‑成膜的制备顺序，先将喷嘴接入去离子水溶液，经过高速旋转的液滴在基板表面形成均匀的水膜，待温度稳定后接入还原剂溶液和氧化剂溶液，通过水解反应促进薄膜的成核及生长，最终制得NiZn铁氧体薄膜。本发明通过引入种子层降低薄膜与衬底之间的应力，诱导薄膜生长调控晶体的微观形貌，不仅使制得的薄膜具有更好的磁性能，而且得到了222和511取向生长的薄膜，提高了薄膜的均匀性。同时，通过控制种子层的厚度，控制晶面沉积速率，调控薄膜生长取向，优化薄膜生长过程，提高晶粒的均匀性。

主权项：1.一种NiZn铁氧体薄膜磁性能及取向生长的调控方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、基板吸附：将玻璃基板真空吸附于反应台上；步骤2、溶液配制：2.1种子层溶液配制：将氧化剂亚硝酸盐和缓冲剂乙酸盐加入去离子水中，混合均匀后得到种子层的氧化剂溶液，其中亚硝酸盐的摩尔浓度为0.5～1mmolL，乙酸盐的摩尔浓度为15～20mmolL；将二价铁盐、镍盐和锌盐加入去离子水中，混合均匀后得到种子层的还原剂溶液，其中二价铁盐的摩尔浓度为10～12mmolL，镍盐的摩尔浓度为2～4mmolL，锌盐的摩尔浓度为0.5～0.8mmolL；2.2生长层溶液配制：将氧化剂亚硝酸盐和缓冲剂乙酸盐加入去离子水中，混合均匀后得到生长层的氧化剂溶液，其中亚硝酸盐的摩尔浓度为2～4mmolL，乙酸盐的摩尔浓度为20～30mmolL；将二价铁盐、镍盐和锌盐加入去离子水中，混合均匀后得到生长层的还原剂溶液，其中二价铁盐的摩尔浓度为5～12mmolL，镍盐的摩尔浓度为1～2mmolL，锌盐的摩尔浓度为0.5～2mmolL；步骤3、参数设置：调整旋涂系统的设备参数，基板温度88～92℃，真空气压0.02～0.04MPa，超声雾化功率2.0～4.0W，喷嘴流量15～19mLmin，装置转速120～140rpm，种子层反应时间60～150s，生长层反应时间20～40min；步骤4、种子层制备：将喷嘴接入种子层的氧化剂溶液和种子层的还原剂溶液，在玻璃基板上制备种子层，得到的种子层厚度为0.05～0.12μm；步骤5、薄膜制备：将喷嘴接入生长层的氧化剂溶液和生长层的还原剂溶液，在种子层上沉积NiZn铁氧体薄膜，厚度为1～2μm，待冷却至室温后取下样品，得到所述NiZn铁氧体薄膜。

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