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申请/专利权人：天津正新光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻板清洗装置，涉及光刻板清洗技术领域。本实用新型包括箱体，所述箱体的下面固定连接有底板，所述底板的内部开设有第一储水空腔，所述底板的内部位于第一储水空腔的上方开设有第一动力空腔，所述箱体内壁的上方开设有第二储水空腔，所述箱体内壁的上方位于第二储水空腔的下方开设有第二动力空腔，所述第一动力空腔内壁的下方固定连接有第一水泵，所述第二动力空腔内壁的下方固定连接有第二水泵，所述箱体内壁的上方的左右两侧和底板上面的左右两侧均固定连接有固定槽块。本实用新型避免手动翻转清洗反面对光刻板清洗过的一面造成污染，提高光刻板的使用效果，减少工作人员的工作强度，提高设备清洗光刻板的效率。
主权项：1.一种光刻板清洗装置，包括箱体1，其特征在于，所述箱体1的下面固定连接有底板2，所述底板2的内部开设有第一储水空腔3，所述底板2的内部位于第一储水空腔3的上方开设有第一动力空腔4，所述箱体1内壁的上方开设有第二储水空腔5，所述箱体1内壁的上方位于第二储水空腔5的下方开设有第二动力空腔6，所述第一动力空腔4内壁的下方固定连接有第一水泵7，所述第二动力空腔6内壁的下方固定连接有第二水泵8，所述箱体1内壁的上方的左右两侧和底板2上面的左右两侧均固定连接有固定槽块9，多个所述固定槽块9内壁的一侧均固定连接有电动滑轨10，两个相应的所述电动滑轨10的相对一面共同固定连接有移动口块11，两个所述移动口块11的内壁均设有包覆范围可变的移动结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津正新光电科技有限公司 一种光刻板清洗装置
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