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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

摘要：本发明提供一种提高微波产生效率的级联结构光导开关及其制备方法，包括第一半导体衬底、第二半导体衬底、第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极、第一透明电极、第二透明电极、第三透明电极、第四透明电极、连接电极；本发明通过半导体衬底材料的级联实现开关级间电容的级联，改善了目前垂直型光导开关在高频情况下输出波形调制度变差、微波转换效率低等问题，级联得到的光导开关在高频情况下的级间电容减小，提高了开关的截止频率和响应能力，提高光导微波的转换效率，同时实现光导开关高功率输出能力的提升。

主权项：1.一种提高微波产生效率的级联结构光导开关，其特征在于：包括第一半导体衬底、第二半导体衬底、第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极、第一透明电极、第二透明电极、第三透明电极、第四透明电极、连接电极；所述的第一半导体衬底和第二半导体衬底相互平行设置；所述的第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极为尺寸相同的圆环电极；其中，第一欧姆接触电极和第二欧姆接触电极分别设在第一半导体衬底的光入射面和光出射面上；第三欧姆接触电极和第四欧姆接触电极分别设在第二半导体衬底的光入射面和光出射面上；所述的第一透明电极、第二透明电极、第三透明电极、第四透明电极为圆柱形电极，直径与第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极的内径相同；其中，第一透明电极和第二透明电极分别设在第一半导体衬底的光入射面和光出射面上，分别位于第一欧姆接触电极和第二欧姆接触电极的环内；第三透明电极和第四透明电极分别设在第二半导体衬底的光入射面和光出射面上，分别位于第三欧姆接触电极和第四欧姆接触电极的环内；所述的连接电极为金属空心圆环，连接电极的内径、外径与第二欧姆接触电极和第三欧姆接触电极的内径、外径相同，连接电极连接于第二欧姆接触电极和第三欧姆接触电极之间；所述的第一欧姆接触电极、第二欧姆接触电极、第三欧姆接触电极、第四欧姆接触电极、第一透明电极、第二透明电极、第三透明电极、第四透明电极、连接电极的中心位于第一半导体衬底和第二半导体衬底的光入射面和出射面的中心线上。

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