申请/专利权人:斯托克精密科技股份有限公司
申请日:2023-09-21
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118156205A
主分类号:H01L21/683
分类号:H01L21/683
优先权:["20221205 TW 111146638"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.07#公开
摘要:本发明提供一种用以顶推电子基板的装置,其包括平台、气室、抽气泵及吸附机构。平台用以承载电子基板,气室设置于平台承载电子基板的相对位置处。抽气泵与气室连通,而可将外界的空气抽入气室内。吸附机构设置于平台上,其可吸附固定承载于平台上的电子基板。
主权项:1.一种用以顶推电子基板的装置,其特征在于,包括:平台,其用以承载电子基板;气室,其设置于所述平台承载电子基板的相对位置处;抽气泵,其与所述气室连通,而可将外界的空气抽入气室内;以及吸附机构,其设置于所述平台上,其可吸附固定承载于所述平台上的所述电子基板。
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权利要求:
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