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申请/专利权人：罗姆股份有限公司
申请日：2023-12-04
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118145587A
主分类号：B81B5/00
分类号：B81B5/00;B81B7/00;B81B7/02;G01P15/12;G01P15/08
优先权：["20221205 JP 2022-194456"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明提供一种可良好地检测加速度的MEMS传感器。MEMS传感器包含：衬底，形成有加速度传感器用的第1传感器区域；第1腔体，在第1传感器区域形成在衬底中；第1锤部，包含形成在第1腔体上的第1膜片；梁部，支撑第1锤部；及压电电阻，形成在梁部。第1锤部的对向面与梁部的对向面形成在同一平面上。
主权项：1.一种MEMS传感器，包含：衬底，形成有加速度传感器用的第1传感器区域；第1腔体，在所述第1传感器区域形成在所述衬底；第1锤部，包含形成在所述第1腔体上的第1膜片；梁部，支撑所述第1锤部；及压电电阻，形成在所述梁部；所述第1锤部的与所述第1腔体对向的第1对向面、和所述梁部的与所述第1腔体对向的第2对向面形成在同一平面上。
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皖公网安备 34010402703815号