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申请/专利权人：诺威量测设备公司
摘要：公开了一种特征化测量盒内的膜层的系统。该系统获得对应于第一X射线束的第一混合分数，该混合分数表示第一X射线束在晶圆样品的测量盒内的分数，该测量盒表示设置在衬底之上的孔结构，并且具有设置于孔结构内部的膜层。系统获得对应于第一X射线束的测量盒的贡献值，该贡献值表示测量盒外部的种类信号对测量盒内部的相同种类信号有贡献。系统使用第一X射线束获得与对测量盒的测量对应的第一测量检测信号。系统基于第一测量检测信号、贡献值和第一混合分数来确定膜层的测量值。
主权项：1.一种用于特征化样品的第一膜层的系统，所述系统包括：电子光学器件，被配置为：用X射线斑点照射包括所述第一膜层和第一样品子区域的第一样品区域；其中，所述第一膜层由第一膜层材料制成并且定位在由衬底材料制成的衬底上方；以及检测从所述第一样品区域发射的电子以提供检测信号；以及处理器，被配置为：基于所述检测信号确定种类信号，所述种类信号包括：i与从所述第一膜层材料发射的电子对应的能带中的第一膜层材料种类信号、以及ii与从所述衬底材料发射的电子对应的能带中的衬底材料种类信号；以及基于以下来确定所述第一膜层的测量值：i所述种类信号、ii指示撞击在所述第一膜层上的所述X射线斑点的分数的混合信息、以及ii表示所述第一膜层材料对所述种类信号中的至少一者的有效贡献的第一膜层材料贡献值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 诺威量测设备公司 在多个测量情况下使用XPS在小盒中进行特征化和测量
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