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申请/专利权人：杭州三花研究院有限公司
申请日：2023-12-28
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118150030A
主分类号：G01L9/08
分类号：G01L9/08;G01K7/22
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：一种传感器，传感器包括压力敏感元件、温度敏感元件、基板和底座，传感器具有容腔，容腔与传感器的外界流体隔离，温度敏感元件位于容腔，基板至少部分位于容腔的外围；底座包括凹槽部，凹槽部具有第一凹槽，基板至少部分位于第一凹槽，基板与凹槽部密封连接，压力敏感元件位于第一凹槽，沿传感器的高度方向，压力敏感元件相对于基板远离容腔。本申请的传感器，基板与凹槽部密封连接，实现了容腔与传感器的外界的流体隔离，提高了容腔的密封可靠性。
主权项：1.一种传感器，其特征在于：所述传感器包括压力敏感元件、温度敏感元件、基板和底座，所述传感器具有容腔，所述容腔与所述传感器的外界流体隔离，所述温度敏感元件位于所述容腔，所述基板至少部分位于所述容腔的外围；所述底座包括凹槽部，所述凹槽部具有第一凹槽，所述基板至少部分位于所述第一凹槽，所述基板与所述凹槽部密封连接，所述压力敏感元件位于所述第一凹槽，沿所述传感器的高度方向，所述压力敏感元件相对于所述基板远离所述容腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州三花研究院有限公司 传感器
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