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申请/专利权人：皮考逊公司
申请日：2022-09-02
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN115772658B
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;C23C16/455;C23C16/515;H01J37/32
优先权：["20210907 FI 20215940"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2023.03.28#实质审查的生效;2023.03.10#公开
摘要：本公开的实施例涉及一种前驱体容器，包括：第一容积，由第一腔室形成以容纳前驱体材料；第二容积，由第二腔室形成并通过分隔壁与第一容积分开；以及导管，穿过分隔壁并从第一容积延伸到第二容积，在第一容积中的压力增加之后，向被容纳在第一容积中的前驱体材料提供到第二容积的路径。分隔壁是允许气体从第一容积渗透至第二容积的透气壁。
主权项：1.一种前驱体容器100,300，包括：第一容积，所述第一容积由第一腔室104，304形成以容纳前驱体材料105，305；第二容积，所述第二容积由第二腔室102，302形成并且通过分隔壁107，307与所述第一容积分开；以及导管103，303，所述导管103，303穿过所述分隔壁107，307并且从所述第一容积延伸到所述第二容积，其中所述第一容积中的所述导管103，303的导管入口浸没在所述前驱体材料105，305的表面水平或弯液面下方的所述前驱体材料105，305中，并且所述导管103，303具有位于所述第二容积内的出口，因此在所述第一容积中的压力增加之后，向被容纳在所述第一容积内的所述前驱体材料105，305提供到所述第二容积的路径，并且所述分隔壁107，307是允许气体从所述第一容积渗透至所述第二容积的透气壁。
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