申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2020-01-10

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN113330299B

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G02B17/02;G01N21/17;G02B13/22

优先权：["20190123 US 62/795,640","20190307 US 16/295,173"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2021.12.31#实质审查的生效;2021.08.31#公开

摘要：成像反射计包括源模块，所述源模块经配置以产生不同标称波长的多个输入光束。布置具有第一数值孔径NA的照明瞳孔，使得多个输入光束中的每个输入光束通过照明瞳孔。大场透镜经配置以接收多个输入光束中的每个输入光束的至少一部分，并且在正被成像的样品上提供实质远心照明。大场透镜也经配置以接收从样品所反射的实质远心照明的被反射的部分。被反射的部分通过具有第二NA的成像瞳孔，并由生成图像信息的成像传感器模块所接收，所述第二NA比第一NA低。

主权项：1.一种成像反射计，包括：源模块，所述源模块经配置以产生多个输入光束，所述多个输入光束中的每个输入光束由不同的光源产生，所述多个输入光束中的至少一些输入光束具有与所述多个输入光束中的其他输入光束不同的标称波长，所述源模块经配置以以第一切换速率顺序地产生所述多个输入光束中的不同输入光束；照明瞳孔，所述照明瞳孔具有第一数值孔径，所述照明瞳孔沿着第一光径布置，使得所述多个输入光束中的每个输入光束通过所述照明瞳孔；光束分离器，所述光束分离器沿着所述第一光径布置在所述照明瞳孔的下游，所述光束分离器经配置以沿着第二光径将所述多个输入光束中的每个输入光束的第一部分引导向参考传感器，并且允许所述多个输入光束中的每个输入光束的第二部分通过所述光束分离器并沿着所述第一光径继续行进；大场透镜，所述大场透镜沿着所述第一光径布置，所述大场透镜经配置以接收来自所述光束分离器的所述多个输入光束中的每个输入光束的所述第二部分，并且提供所述多个输入光束中的每个输入光束的所述第二部分作为正被成像的样品之上的实质远心照明，在约350nm至约1100nm的波长范围内，所述实质远心照明的远心误差小于0.1度，所述大场透镜也经配置以接收从所述样品所反射的所述实质远心照明的被反射的部分并沿着所述第一光径将所述被反射的部分引导向所述光束分离器，其中所述被反射的部分被所述光束分离器引导沿着第三光径；成像瞳孔，所述成像瞳孔具有第二数值孔径，所述第二数值孔径比所述照明瞳孔的所述第一数值孔径要低，所述成像瞳孔沿着所述第三光径布置在所述光束分离器的下游，使得所述被反射的部分通过所述成像瞳孔；以及成像传感器模块，所述成像传感器模块沿着所述第三光径布置在所述成像瞳孔的下游，所述成像传感器模块经配置以接收所述被反射的部分并生成对应的图像信息，所述成像传感器模块经配置以基于来自所述参考传感器的信息来标准化所述图像信息中的至少部分，所述成像传感器模块经配置以以与所述源模块的所述第一切换速率相同或更快的帧速率来生成所述图像信息。

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权利要求：

百度查询： 应用材料公司 成像反射计

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