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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2020-09-03
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN114746650B
主分类号：F04B43/04
分类号：F04B43/04
优先权：["20191128 JP 2019-215163"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2022.07.29#实质审查的生效;2022.07.12#公开
摘要：本发明涉及致动器以及流体控制装置。致动器11具备配置有压电元件30的第一主板21、框体22以及连结部23。框体22在比第一主板21的外缘靠外侧，与第一主板21分离地配置。连结部23配置在第一主板21与框体22之间。连结部23具有沿着外缘配置的多个连结体231和多个连结体231之间的空隙232，多个连结体231与第一主板21及框体22连接。第一主板21和连结体231由同一材料构成。连结体231的厚度D23大于第一主板21的厚度D21。
主权项：1.一种流体控制装置，其中，具备：第一主板；框体，在比所述第一主板的外缘靠外侧，与所述第一主板分离地配置；连结部，配置在所述第一主板与所述框体之间；驱动体，配置于所述第一主板，使所述第一主板弯曲振动；第二主板，在相对于所述第一主板的主面正交的方向上与所述第一主板隔开距离地配置；以及连接部件，配置在所述第二主板与所述框体之间，与所述第二主板和所述框体连接，所述连结部具有沿着所述外缘配置的连结体和空隙，所述连结体与所述第一主板及所述框体连接，所述空隙与所述连结体邻接，所述第二主板的主面与所述第一主板的主面平行地定位，所述第二主板具有沿与所述第二主板的主面正交的方向延伸的贯通孔，所述流体控制装置具有泵室，所述泵室被所述第一主板、所述第二主板、以及所述连接部件包围，且通过所述连结部的所述空隙、以及所述第二主板的所述贯通孔与外部连通，所述第一主板和所述连结体由同一材料构成，所述连结体的平均厚度大于所述第一主板的平均厚度，所述第一主板、所述连结体以及所述框体被一体形成，所述第一主板的厚度方向的与所述泵室侧相反侧的端部、所述连结体的厚度方向的与所述泵室侧相反侧的端部、以及所述框体的厚度方向的与所述泵室侧相反侧的端部共面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 致动器以及流体控制装置
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