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申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2019-06-12
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN110828493B
主分类号：H01L27/146
分类号：H01L27/146
优先权：["20180814 KR 10-2018-0094843"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2020.02.21#公开
摘要：提供了一种图像传感器。所述图像传感器包括：衬底，包括与光入射的第二表面相对的第一表面；第一光电转换层，位于衬底中；包括多个布线层的布线结构，位于衬底的第一表面上；层间绝缘膜，位于衬底的第二表面上；电容器结构，位于层间绝缘膜中；以及第一布线，位于层间绝缘膜上。所述电容器结构包括依次堆叠在衬底的第二表面上的第一导电图案、介电图案和第二导电图案。第二导电图案连接到第一布线。
主权项：1.一种图像传感器，所述图像传感器包括：衬底，所述衬底包括第一表面和第二表面，所述第二表面与所述第一表面相对并且被配置为被光入射；第一光电转换层，所述第一光电转换层位于所述衬底中；布线结构，所述布线结构位于所述衬底的所述第一表面上，所述布线结构包括多个布线层；层间绝缘膜，所述层间绝缘膜位于所述衬底的所述第二表面上；电容器结构，所述电容器结构位于所述层间绝缘膜中，所述电容器结构包括依次堆叠在所述衬底的所述第二表面上的第一导电图案、介电图案和第二导电图案；第一布线，所述第一布线位于所述层间绝缘膜上，所述第一布线连接到所述第二导电图案；第一电极，所述第一电极位于所述层间绝缘膜上，所述第一电极与所述第一布线间隔开；第二光电转换层，所述第二光电转换层位于所述第一电极上；以及第二电极，所述第二电极位于所述第二光电转换层上，所述图像传感器被配置为向所述第一电极施加与所述第二电极相比不同大小的电压。
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