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【实用新型】一种使用稳定的单晶炉抽空系统_乌海市京运通新材料科技有限公司_202322843412.9 

申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

申请日:2023-10-23

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN221094361U

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00;C30B29/06;B01D46/10;B01D46/42;B01D53/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权

摘要:本实用新型公开了一种使用稳定的单晶炉抽空系统,具体涉及单晶炉抽真空技术领域,包括多个炉体,多个所述炉体之间设置有集中抽空管道,多个炉体的抽气端处均安装有连接管道,所述集中抽空管道的一端设置有输送管道,所述输送管道上安装有多个抽空支管,且多个抽空支管的一端均设置有副抽空泵,所述输送管道的端部安装有主抽空泵,所述抽空支管和输送管道的表面均安装有阀门。本实用新型能够对多个炉体进行稳定抽真空处理,且能够在不影响炉体抽真空的情况下,对损坏的真空泵起到拆除更换的效果,同时能够对抽真空时的灰尘进行过滤处理,避免对真空泵造成影响,保证炉体内部抽真空的稳定运行。

主权项:1.一种使用稳定的单晶炉抽空系统,包括多个炉体(1),其特征在于:多个所述炉体(1)之间设置有集中抽空管道(2),多个炉体(1)的抽气端处均安装有连接管道(3),所述集中抽空管道(2)的一端设置有输送管道(4),所述输送管道(4)上安装有多个抽空支管(5),且多个抽空支管(5)的一端均设置有副抽空泵(6),所述输送管道(4)的端部安装有主抽空泵(7),所述抽空支管(5)和输送管道(4)的表面均安装有阀门(8)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种使用稳定的单晶炉抽空系统

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