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申请/专利权人：金阳硅业科技(徐州)有限公司
摘要：本申请公开了一种铸锭单晶新籽晶加工方法，包括以下步骤：步骤一、调整切片机工作台上的导轨的倾斜角度，让安装在导轨上的塑料板处于倾斜状态；步骤二、将晶棒安装在处于倾斜状态的塑料板上，让晶棒在切片机内部处于倾斜状态；步骤三、启动切片机，采用切片机内部的切割导轮和切割线网对处于倾斜状态的晶棒进行切割，得到具有倾斜度的籽晶。本申请公开的铸锭单晶新籽晶加工方法能够提高籽晶的加工精度，改变籽晶的形状，减少籽晶表面的损伤，让铺设在坩埚底部的单晶籽晶较为平整，避免了因坩埚底部的籽晶之间存在位错和缝隙而导致硅液从缝隙处流动进入籽晶之间的情况发生，减少了单晶硅原料的浪费，节省了成本，提高了铸锭单晶硅的质量。
主权项：1.一种铸锭单晶新籽晶加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、调整切片机工作台上的导轨的倾斜角度，让安装在导轨上的塑料板处于倾斜状态；步骤二、将晶棒安装在处于倾斜状态的塑料板上，让晶棒在切片机内部处于倾斜状态；步骤三、启动切片机，采用切片机内部的切割导轮和切割线网对处于倾斜状态的晶棒进行切割，得到具有倾斜度的籽晶；步骤四、采用氢氟酸和硝酸配置混合酸液，将混合酸液倾倒在酸洗池中进行储存；步骤五、采用花篮储存步骤三中得到的具有倾斜度的籽晶，并将花篮浸泡在酸洗池中，让混合酸液与具有倾斜度的籽晶接触，再翻转花篮，让花篮中的各个具有倾斜度的籽晶与酸液充分接触，去除各个具有倾斜度的籽晶表面的杂质；步骤六、将步骤五中的花篮从酸洗池中取出，并将花篮放入漂洗池中，采用纯水漂洗花篮中具有倾斜度的籽晶，去除籽晶表面残留的混合酸液；步骤七、将步骤六中的花篮从漂洗池中取出，并将花篮放入静置池中，采用常温水浸泡花篮中具有倾斜度的籽晶，降低籽晶表面经酸洗后产生的温度；步骤八、采用风枪去除花篮中的具有倾斜度的籽晶表面的水渍，并将具有倾斜度的籽晶从花篮中去除，采用无尘纸擦拭籽晶表面的水渍残留，得到干燥的具有倾斜度的籽晶；步骤九、将干燥的具有倾斜度的籽晶存放在收纳盒中，完成了铸锭单晶新籽晶的加工。
全文数据：
权利要求：
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