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申请/专利权人：广东思沃先进装备有限公司
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118173488A
主分类号：H01L21/68
分类号：H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本申请提供了一种移载平台，其包括：在径向上由外至内依次相互套设的第一架体、第二架体和吸附盘，所述第二架体用于承载支撑环，所述吸附盘用于承载并吸附晶圆；所述第二架体和所述吸附盘均可相对所述第一架体升降移动以使所述晶圆与所述支撑环对齐至同一高度平面；所述第二架体和所述吸附盘能够沿横向相对移动以使所述晶圆与所述支撑环对齐至同心位置。本申请提供的移载平台，能够有效消除支撑环与晶圆之间的位置误差。
主权项：1.一种移载平台，其特征在于，包括：在径向上由外至内依次相互套设的第一架体、第二架体和吸附盘，所述第二架体用于承载支撑环，所述吸附盘用于承载并吸附晶圆；所述第二架体和所述吸附盘均可相对所述第一架体升降移动以使所述晶圆与所述支撑环对齐至同一高度平面；所述第二架体和所述吸附盘能够沿横向相对移动以使所述晶圆与所述支撑环对齐至同心位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东思沃先进装备有限公司 移载平台
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