申请/专利权人:夏普株式会社
申请日:2022-11-14
公开(公告)日:2024-06-11
公开(公告)号:CN118176399A
主分类号:F26B3/347
分类号:F26B3/347;F26B5/04;H05B6/76;H05B6/80;B01D53/26
优先权:["20211119 JP 2021-188290","20220624 JP 2022-101466"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.11#公开
摘要:本公开的目的在于提供一种在真空容器内设置微波遮蔽容器并能够更可靠且简单地进行微波的遮蔽的装置。本公开的装置的特征在于,具备:壳体;真空容器,其设置于所述壳体内;以及微波遮蔽容器,其设置于所述真空容器内并收纳被处理物,所述微波遮蔽容器具有:微波放射部;以及开口部,所述开口部遮蔽微波并使所述微波遮蔽容器内的气体向所述真空容器流通。
主权项:1.一种装置,其特征在于,具备:壳体;真空容器,其设置于所述壳体内;以及微波遮蔽容器,其设置于所述真空容器内并收纳被处理物,所述微波遮蔽容器具有:微波放射部;以及开口部,所述开口部遮蔽微波并使所述微波遮蔽容器内的气体向所述真空容器流通。
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