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一种抑制阈值电压漂移的选通管及其制备方法 

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申请/专利权人:华中科技大学

摘要:本申请提供了一种抑制阈值电压漂移的选通管及其制备方法,属于微电子技术领域,选通管包括:第一金属电极层、选通开关层和第二金属电极层;选通开关层包括选通材料层和抑制层;选通材料层在电流或电压激励下产生离域态缺陷,形成第一金属电极层和第二金属电极层之间的导电通道;抑制层提高选通材料层的离域态激发能垒,同时抑制第二金属电极层和选通材料层的相互作用。本申请提供的选通管可以抑制阈值电压的漂移以及降低漏电流,降低了选通开关层的功耗,以实现更高循环次数的应用需求。

主权项:1.一种抑制阈值电压漂移的选通管,其特征在于,依次包括:第一金属电极层、选通开关层和第二金属电极层;所述选通开关层包括选通材料层和抑制层;所述抑制层位于选通材料层与第二金属电极层之间;所述选通材料层用于在电流或电压激励下产生离域态缺陷,形成第一金属电极层和第二金属电极层之间的导电通道;所述抑制层用于提高选通材料层的离域态激发能垒,降低离域态缺陷的局域化,抑制阈值电压漂移。

全文数据:

权利要求:

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