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申请/专利权人：辽宁汉京半导体材料有限公司

摘要：本发明涉及陶瓷生产加工技术领域，具体提出了一种碳化硅产品烧结炉及烧结方法；该烧结炉包括烧结炉主体，所述烧结炉主体的炉膛内固定有用于碳化硅产品坯料堆放的模块料架，所述烧结炉主体的外部与其配合设置有用于烧结后的碳化硅产品预冷的中转预冷架；与现有的烧结炉相比，设置有模块化的模块料架，并配合设置有中转预冷架，通过模块料架可增强高温气流在产品摆放空间内的均匀流动分布，且更适用于腔体结构产品的内外同温烧结；在模块料架中，通过每个可独立移出设置的托板总装与中转预冷架相互配合，使得烧结前可配合进行产品坯料的快速摆放，在烧结后可配合进行产品的稳定冷却定型，保证了产品烧结成型质量，避免了产品的开裂以及变形。

主权项：1.一种碳化硅产品烧结炉，其特征在于：包括烧结炉主体（01），所述烧结炉主体（01）的炉膛内固定有用于碳化硅产品坯料堆放的模块料架（02），所述烧结炉主体（01）的外部与其配合设置有用于烧结后的碳化硅产品预冷的中转预冷架（03）；其中：所述模块料架（02）包括固定在烧结炉主体（01）炉膛内的支撑架（1），所述支撑架（1）上竖直分布设置有多个托板总装（2），多个所述托板总装（2）均沿炉膛轴线方向独立水平滑动安装在支撑架（1）上；所述托板总装（2）包括水平滑动配合安装在支撑架（1）上的基础框（21），所述基础框（21）上开设有矩形的窗口（212），所述基础框（21）的上端面插接放置有主托板（22），所述基础框（21）的下端面固定有匀温罩（23），所述匀温罩（23）从所述窗口（212）贯穿且与主托板（22）下端面压合接触；所述主托板（22）上分布有多列传热孔（222），热气流从所述匀温罩（23）处分散流通至每个所述传热孔（222）处；所述中转预冷架（03）包括升降驱动组件（3）以及两个水平相对滑动设置在升降驱动组件（3）两侧的定位托架组件（4）；所述定位托架组件（4）包括与升降驱动组件（3）升降端同步升降的定位托架（43），当所述定位托架（43）上升至与其中一个托板总装（2）水平对准，且所述托板总装（2）相对定位托架（43）靠近移动时，所述基础框（21）与所述定位托架（43）构成滑动插接配合；所述升降驱动组件（3）的升降端装配有通过匀温罩（23）向传热孔（222）传递流通冷气流的预冷机构（5）。

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