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申请/专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日：2024-05-11
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118165653A
主分类号：C09G1/02
分类号：C09G1/02;C09K3/14;B24B37/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本申请公开了一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法，属于金刚石抛光技术领域。该抛光液包括金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水，所述抛光液中金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水的重量比为（0.02~0.1）：（0.02~0.1）：（0.05~0.1）：1，所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。本申请的抛光液通过使用微溶于水的铁盐来实现铁源的供给，能够在双氧水的存在下实现羟基自由基的稳定供应，从而有效去除金刚石表面的杂质，实现对金刚石表面的原子级粗糙度的控制。
主权项：1.一种金刚石用抛光液，其特征在于，所述抛光液包括金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水，所述抛光液中金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水的重量比为（0.02~0.1）：（0.02~0.1）：（0.05~0.1）：1，所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东天岳先进科技股份有限公司 一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法
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