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申请/专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日：2024-05-11
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118165701A
主分类号：C09K3/14
分类号：C09K3/14;B24B37/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本申请公开了一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法，属于金刚石研磨技术领域。该研磨液包括金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水，所述研磨液中金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水的重量比为（0.08~0.15）：（0.08~0.15）：（0.05~0.10）：1，所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。研磨方法中采用含有双氧水的研磨液与表面固定有金刚石微粉的研磨盘相互协同，能够实现对金刚石衬底的均匀且高效研磨，显著降低研磨后的金刚石衬底的粗糙度并提高成品率，提高了金刚石衬底的应用前景。
主权项：1.一种金刚石用研磨液，其特征在于，所述研磨液包括金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水，所述研磨液中金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水的重量比为（0.08~0.15）：（0.08~0.15）：（0.05~0.10）：1，所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东天岳先进科技股份有限公司 一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法
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