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申请/专利权人：江苏华恒新能源有限公司
申请日：2024-02-06
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118173644A
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/054
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明涉及多晶硅太阳能电池技术领域，且公开了一种多晶硅太阳能电池的背场钝化工艺，所述的背场钝化工艺包括以下操作步骤：S1、制绒；S2、扩散；S3、刻蚀；S4、背面镀膜；S5、正面镀膜；S6、开槽；S7、印刷电极。该多晶硅太阳能电池的背场钝化工艺，采用对多晶硅太阳能电池的背面进行镀膜和开槽的形式，多晶电池片背面镀氮氧化硅，代替传统的镀氧化铝和氮化硅，氮氧化硅有良好的钝化效果，减少了工序，节省了人力，提高了填充因子和电池效率，优化了背场钝化带来的效率提升。
主权项：1.一种多晶硅太阳能电池的背场钝化工艺，其特征在于，所述的背场钝化工艺包括以下操作步骤：S1、制绒：对P型多晶电池原始硅片进行表面处理，使用酸或碱去除电池片金属离子和死层，使硅片上表面形成蜂窝状绒面；S2、扩散：在高温炉管内对P型多晶电池通三氯氧磷，通过物理扩散把磷元素扩散至硅片内部，磷和P型多晶硅片中已掺入的硼相结合，形成PN结；S3、刻蚀：使用酸或碱对电池四周及背面的PN结和磷硅玻璃进行去除，同时对硅片背面进行抛光处理；S4、背面镀膜：在多晶电池片背面镀氮氧化硅；S5、正面镀膜：在多晶电池正面镀氮化硅层；S6、开槽：使用激光机对电池背面进行开槽，开槽深度穿破氮氧化硅层；S7、印刷电极：使用丝网印刷工艺在多晶电池正背面印刷银铝浆，通过高温烧结进电池片内部形成电池的正负电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏华恒新能源有限公司 一种多晶硅太阳能电池的背场钝化工艺
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