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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日：2024-02-22
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118169087A
主分类号：G01N21/64
分类号：G01N21/64;G01N21/31;G01N21/33;G01N21/01
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开
摘要：本发明提供一种可同时获得深紫外显微荧光图像和荧光光谱的装置，包括：深紫外激发光模块，用于激发出待测样品的荧光；光学显微镜模块，包括二向色镜、长波通滤光镜和第一分光镜等，二向色镜用于偏转深紫外激光，以使深紫外激光射向待测样品，从而激发出荧光，并使从样品发出的荧光透过，长波通滤光镜用于对穿过二向色镜的荧光进行过滤，以滤除深紫外激光透过荧光，第一分光镜用于将过滤后的荧光分成第一束荧光和第二束荧光；显微荧光成像模块和显微荧光光谱模块并行连接于光学显微镜模块的输出端，显微荧光成像模块用于捕捉第一束荧光以获得深紫外波段的荧光图像，显微荧光光谱模块用于捕捉第二束荧光以获得深紫外波段的荧光光谱。
主权项：1.一种可同时获得深紫外显微荧光图像和荧光光谱的装置，其特征在于，包括：深紫外激发光模块1，用于产生和发射深紫外激光，所述深紫外激光用于激发出待测样品200的荧光；光学显微镜模块2，与所述深紫外激发光模块1相连，所述光学显微镜模块2包括依次间隔设置的二向色镜21、长波通滤光镜22和第一分光镜23，其中，所述二向色镜21用于偏转所述深紫外激光，以使所述深紫外激光射向所述待测样品200，从而激发出所述荧光，所述荧光穿过所述二向色镜21，所述长波通滤光镜22用于对穿过所述二向色镜21的荧光进行过滤，以滤除所述深紫外激光、透过所述荧光，所述第一分光镜23用于将过滤后的荧光分成第一束荧光和第二束荧光；显微荧光成像模块3和显微荧光光谱模块4，并行连接于所述光学显微镜模块2的输出端，所述显微荧光成像模块3用于捕捉所述第一束荧光以获得深紫外波段的荧光图像，所述显微荧光光谱模块4用于捕捉所述第二束荧光以获得深紫外波段的荧光光谱。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 可同时获得深紫外显微荧光图像和荧光光谱的装置
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