申请/专利权人:云南润阳世纪光伏科技有限公司
申请日:2024-03-28
公开(公告)日:2024-06-11
公开(公告)号:CN118173660A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/0236
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.11#公开
摘要:本公开提供一种改善TOPcon电池钝化和接触的方法,其包括:对去除硼硅玻璃层的硅片背面进行图案化激光氧化处理;以及对激光氧化后的硅片背面进行湿法化学碱抛光。所述方法通过对Topcon电池背面衬底进行图案化激光氧化处理,在对应丝网栅线印刷区域形成一层氧化层,进一步利用碱抛添加剂对氧化层的保护作用,实现栅线印刷区域和非栅线区域的差异化处理。
主权项:1.一种改善TOPcon电池钝化和接触的方法,其包括:对去除硼硅玻璃层的硅片背面进行图案化激光氧化处理;以及对激光氧化后的硅片背面进行湿法化学碱抛光。
全文数据:
权利要求:
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