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申请/专利权人：山东尚泰新材料有限公司

摘要：本发明属于尺寸测量技术领域，涉及一种石英坩埚外形尺寸的测量，具体涉及一种石英坩埚底部厚度测量仪器及测量方法。位移传感器开始测量数据并保存进数据库，后电动执行器驱动后检测球沿半径朝向轴心线方向平移；后电机驱动后电动执行器和后检测球的组合逆时针方向旋转18度然后停止；后电动执行器驱动后检测球沿半径背向轴心线方向平移，后电机驱动后电动执行器和后检测球的组合逆时针方向旋转18度然后停止；本发明不用破坏石英坩埚，就能自动测量坩埚底部的厚度，减少浪费，减少经济损失，测量的数据多，测量点均匀分布在坩埚底部圆形区域，能详细地描述出坩埚底部的厚度分布状况。

主权项：1.一种石英坩埚底部厚度测量仪器，包括机架组件（2）、后检测组件（3）和前检测组件（4）；其特征在于：所述机架组件（2）包括机架（21）、后导轨（22）、前导轨（23）和坩埚支板（24）；所述后导轨（22）和前导轨（23）前后方向设置、分别与机架（21）固定联接；所述后导轨（22）在前导轨（23）后边；所述坩埚支板（24）固定在机架（21）上、位于后导轨（22）和前导轨（23）之间；所述后检测组件（3）包括后支架（31）、后滑块（32）、位移传感器（35）和后检测球（37）；所述后滑块（32）和位移传感器（35）的外壳分别与后支架（31）固定联接；所述后滑块（32）和后导轨（22）组成直线导轨副；所述后检测球（37）和后支架（31）联接，所述后检测球（37）的球面朝前抵触在坩埚底部（11）的后侧面上；所述前检测组件（4）包括前支架（41）、前滑块（42）、前检测球（47）和检测臂（48）；所述前滑块（42）与前支架（41）固定联接；所述前滑块（42）和前导轨（23）组成直线导轨副；所述前检测球（47）和前支架（41）联接，所述前检测球（47）的球面朝后，前检测球（47）在后检测球（37）的正前方；前检测球（47）的球面抵触在坩埚底部（11）的前侧面上；所述检测臂（48）的前端和前支架（41）的前端固定联接，所述检测臂（48）的后端从石英坩埚（1）的外侧向后伸，所述检测臂（48）的后端设有朝后的触碰平面（45）；位移传感器（35）的检测杆前端垂直抵触在触碰平面（45）上。

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