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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2019-11-01
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN111136575B
主分类号：B24B37/10
分类号：B24B37/10;B24B37/30;B24B57/02
优先权：["20181105 KR 10-2018-0134429"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2021.11.02#实质审查的生效;2020.05.12#公开
摘要：提供了一种基底支撑装置和使用其抛光基底的方法。所述基底支撑装置可以包括设置在框架中的多孔吸盘、设置在多孔吸盘上的吸附垫以及设置在多孔吸盘与吸附垫之间的粘合剂层。吸附垫可以包括弹性层和与弹性层结合的多孔层。粘合剂层、弹性层和多孔层中的每个可以包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分。基于AskerC硬度标度，吸附垫可以具有100或更小的硬度值。
主权项：1.一种基底支撑装置，所述基底支撑装置包括：多孔吸盘，位于框架中；吸附垫，在所述多孔吸盘上；以及粘合剂层，位于所述多孔吸盘与所述吸附垫之间，其中：所述吸附垫包括其中不包括气孔的弹性层和其中包括气孔的多孔层，所述多孔层堆叠在所述弹性层上，所述粘合剂层、所述弹性层和所述多孔层中的每个包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分，所述吸附垫具有100或更小的AskerC硬度值，所述吸附垫的所述多孔层包括平均直径小于100µm的气孔，所述贯穿部分具有小于100µm的平均直径，并且所述气孔具有圆形或椭圆形形状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 基底支撑装置和使用该基底支撑装置抛光基底的方法
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