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申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司
申请日：2024-04-09
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118003296B
主分类号：B25H1/14
分类号：B25H1/14;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要：本发明公开了一种平面运动台，包括运动基板，运动基板上侧设有基台，运动基板两侧分别对接有不少于三个的气浮轴承，运动基板布设有与气浮轴承对应设置的引导槽，气浮轴承包括气浮基体，气浮基体一侧连通有气浮基管，气浮基体内设有转动件，转动件与气浮基管相连接，气浮基体另一侧设有气浮板，气浮基体内设有第一腔体，第一腔体位于气浮板与气浮基体之间，气浮基体侧壁设有环形腔，环形腔上配合设有侧气浮环板，环形腔和第一腔体之间通过侧导流通道连通；运动基板下侧设有位移组件，位移组件用于驱动运动基板在所在平面位移。本发明的目的在于提供一种纵向无干涉、正压排气且定位精度高的一种平面运动台。
主权项：1.一种平面运动台，包括运动基板（1），所述运动基板（1）上侧设有基台（11），所述运动基板（1）两侧分别对接有不少于三个的气浮轴承（2），所述运动基板（1）布设有与气浮轴承（2）对应设置的引导槽（12），其特征在于，所述气浮轴承（2）包括气浮基体（21），所述气浮基体（21）一侧连通有气浮基管（22），所述气浮基体（21）内设有转动件，所述转动件与气浮基管（22）相连接，所述气浮基体（21）另一侧设有气浮板（23），所述气浮基体（21）内设有第一腔体（24），所述第一腔体（24）位于气浮板（23）与气浮基体（21）之间，所述气浮基体（21）侧壁设有环形腔（25），所述环形腔（25）上配合设有侧气浮环板（26），所述环形腔（25）和第一腔体（24）之间通过侧导流通道（27）连通；所述运动基板（1）下侧设有位移组件（3）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡星微科技有限公司杭州分公司 一种平面运动台
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