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申请/专利权人：上海御微半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，标定块包括沿第一方向排布的N个台阶部，沿第二方向，N个台阶部的高度各不相同，其中，第一方向垂直于第二方向，N≥2且N为整数，台阶部包括垂直于第二方向的顶面，顶面设置有分辨率测试图案。本发明提供的标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法，通过设置高度各不相同的N个台阶部，且每个台阶部的顶面均设置有分辨率测试图案，使得缺陷检测装置的图像采集模块与标定块处于相对静止的状态下即可获取不同高度平面内的分辨率测试图案的图像，实现对图像采集模块的焦深和最佳焦面的标定，无需再令图像采集模块进行垂向运动，操作简单，且不会耦合进垂向运动的误差，提高了标定的精度。
主权项：1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括标定块；所述标定块包括沿第一方向排布的N个台阶部，沿第二方向，N个台阶部的高度各不相同，其中，所述第一方向垂直于所述第二方向，N≥2且N为整数；所述台阶部包括垂直于所述第二方向的顶面，所述顶面设置有分辨率测试图案；所述缺陷检测装置还包括载物台、图像采集模块和计算机控制模块；所述载物台用于承载待测物；所述图像采集模块用于采集所述待测物的图像；所述计算机控制模块与所述图像采集模块电连接，用于根据所述待测物的图像对所述待测物进行缺陷检测；所述标定块固定于所述载物台上，所述图像采集模块还用于采集所述标定块的图像，所述计算机控制模块还用于根据所述标定块的图像获取所述图像采集模块的焦深和最佳焦面；其中，所述标定块的图像包括N个第一子图像，N个所述第一子图像与N个台阶部对应，所述第一子图像为对应的台阶部的顶面上分辨率测试图案的图像，其中，N≥2且N为整数；所述计算机控制模块具体还用于计算所述第一子图像的对比度；根据所述第一子图像的对比度计算所述图像采集模块的焦深；根据所述焦深计算所述图像采集模块的最佳焦面。
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权利要求：
百度查询： 上海御微半导体技术有限公司 一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法
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