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申请/专利权人：南通江海电容器股份有限公司

摘要：本发明涉及铝电解电容器技术领域，其具体公开一种中高压复合化成箔的制备方法及其应用，包括：S1、铝箔前处理：以铝箔为基材，对其进行前处理；S2、铝箔腐蚀发孔、扩孔：对前处理后的铝箔腐蚀发孔，发孔后扩孔；S3、铝箔化成：将铝箔在酸性溶液中分步阳极氧化，在铝箔的表面生成氧化铝膜；S4、高介电膜沉积：在氧化铝膜上沉积金属氧化物，形成纳米级的高介电膜；S5、铝箔中处理：将沉积高介电膜的铝箔进行水合反应，快速冷冻，高温加热；S6、铝箔补化成：将中处理后的铝箔在酸性溶液中阳极氧化；S7、铝箔后处理：将补化成后的铝箔置于酸性溶液中浸泡，退火，制得中高压复合化成箔。应用：将制得的化成箔用于制备铝电解电容器。

主权项：1.一种中高压复合化成箔的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：S1、铝箔前处理：以铝箔作为基材，对其进行前处理；S2、铝箔腐蚀发孔、扩孔：对前处理后的所述铝箔进行腐蚀发孔，发孔后再进行扩孔；S3、铝箔化成：将扩孔后的所述铝箔在酸性溶液中进行分步阳极氧化，以在所述铝箔的表面生成氧化铝膜；S4、高介电膜沉积：利用原子层沉积法将具有介电常数的金属氧化物负载于所述氧化铝膜上，以形成高介电膜；其中，所述金属氧化物的分子通式表达为MOx，式中M代表钛、锆、铪、钽、锑金属元素中的一种；原子层沉积法包括如下步骤：（1）将化成后的铝箔置于真空度为1.0～10.0pa、温度为100～250℃的反应腔体中，以流量为1000～2000sccm的惰性气体作为载气向反应腔体中吹入流量为500～1800sccm的氧源，吹入时间为0.1～2.0秒；其中：所述的氧源为水或臭氧；（2）利用惰性气体吹出多余的氧源，时间为10.0～20.0秒；（3）以惰性气体向反应腔体中吹入流量为0.5～3.0gmin的M源，时间为0.1～2.0秒；（4）利用惰性气体吹出多余的M源，时间为10.0～20.0秒；（5）将步骤（1）～步骤（4）循环100～1500次，完成金属氧化物的沉积；S5、铝箔中处理：将沉积了高介电膜的铝箔先进行水合反应，然后快速冷冻，接着再高温加热，完成中处理过程；S6、铝箔补化成：将中处理后的铝箔在酸性溶液中进行阳极氧化；S7、铝箔后处理：将补化成后的铝箔置于酸性溶液中浸泡，然后退火，制得中高压复合化成箔。

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