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申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日：2021-01-29
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN113741138B
主分类号：G03F1/22
分类号：G03F1/22
优先权：["20200514 US 63/024,595","20210112 US 17/146,747"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2021.12.21#实质审查的生效;2021.12.03#公开
摘要：本发明提出一种光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法，具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及一弹性部，配置成使该可动部介于该弹性部和该盒盖的顶部之间。当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。
主权项：1.一种光掩模盒，其特征在于，该光掩模盒具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及一弹性部，配置成安装至该盒盖的该顶部，以定义接收该可动部的一容置空间，从而使该可动部被限制于该弹性部和该盒盖的顶部之间，当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 家登精密工业股份有限公司 光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法
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