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申请/专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日：2023-03-03
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN116200730B
主分类号：C23C16/505
分类号：C23C16/505;H01R4/64;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2023.06.20#实质审查的生效;2023.06.02#公开
摘要：本发明提供了一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构，包括有真空侧接地线，真空侧接地线的一端与下电极连接，在工艺腔上开设有安装孔，安装孔安装有接地线本体，且接地线本体与工艺腔绝缘连接，真空侧接地线的另一端与接地线本体连接，接地线本体连接有大气侧接地线，大气侧接地线一侧与工艺腔连接，大气侧接地线上连接有可变电阻，接地线本体还连接有检测机构，检测机构连接有控制模块，控制模块根据检测结果控制可变电阻的大小，改变大气侧接地线的通断。本发明能够及时的监控真空侧接地线的断裂数量和断裂位置，在局部真空侧接地线断裂的情况下，不需要立马对工艺腔进行保养维护，延长保养工艺腔周期，能够提高设备的产能。
主权项：1.一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构，包括有复数个真空侧接地线1，所述真空侧接地线1的一端与下电极连接，其特征在于：在工艺腔上开设有复数个安装孔，每一所述安装孔均安装有一个接地线本体2，且所述接地线本体2与工艺腔绝缘连接；所述真空侧接地线1的数量与接地线本体2的数量一一对应，且所述真空侧接地线1的另一端与对应的接地线本体2连接，所述接地线本体2连接有大气侧接地线3，所述大气侧接地线3远离接地线本体2的一端与工艺腔连接，所述大气侧接地线3上连接有可变电阻4，所述接地线本体2还连接有用于检测真空侧接地线1是否断裂的检测机构5，所述检测机构5连接有控制模块6，所述控制模块6根据检测结果控制可变电阻4的大小，改变大气侧接地线3的通断；所述检测机构5包括有阻抗确认导线12，所述阻抗确认导线12的一端与接地线本体2连接，所述阻抗确认导线12的另一端与下电极连接，所述阻抗确认导线12上设置有阻抗测量组件13，所述阻抗测量组件13与控制模块6电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构
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