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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN221117582U
主分类号：C23C14/04
分类号：C23C14/04;C23C14/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权
摘要：本申请提供了一种掩膜板。该掩膜板包括基板以及设置于基板的第一蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第二蒸镀部沿第一方向间隔设置。所述第一蒸镀部内设置有多个第一镂空孔，所述第二蒸镀部内设置有多个第二镂空孔。所述第一镂空孔的形状与所述第二镂空孔的形状不同，和或，所述第一镂空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同。μ1E1与μ2E2处于同一量级，其中，μ1为所述第一蒸镀部的泊松比，μ2为所述第二蒸镀部的泊松比，E1为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量，E2为所述第二蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量。本申请能够提高蒸镀效率与蒸镀效果。
主权项：1.一种掩膜板，其特征在于，包括：基板以及设置于所述基板的第一蒸镀部与第二蒸镀部，所述第一蒸镀部与所述第二蒸镀部沿第一方向间隔设置；所述第一蒸镀部内设置有多个第一镂空孔，所述第二蒸镀部内设置有多个第二镂空孔；所述第一镂空孔的形状与所述第二镂空孔的形状不同，和或，所述第一镂空孔与所述第二镂空孔的分布密度不同；μ1E1与μ2E2处于同一量级，其中，μ1为所述第一蒸镀部的泊松比，μ2为所述第二蒸镀部的泊松比，E1为所述第一蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量，E2为所述第二蒸镀部沿所述第一方向的弹性模量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板
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