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申请/专利权人：东芯(苏州)科技有限公司
申请日：2023-10-26
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN221125915U
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权
摘要：一种用于电吸盘的盘环及其安装治具，盘环的材料为耐腐蚀的弹性材料；盘环包括内侧的安装面和外侧的使用面，安装面上设有至少两个定位结构，定位结构在盘环的周向上以第一分布方式布置；在装配状态下，盘环套接在电吸盘的界面沟槽中，定位结构以第一分布方式沿电吸盘周向布置。本申请提供的盘环可靠性佳，寿命长，进而能够有效避免因密封性失效导致的电吸盘损坏，有助于降低设备成本，且安装的便捷性高。安装治具包括中心盘和两个定位杆；中心盘的外周以第一分布方式布设有多个连接端；定位杆的一端与中心盘的连接端可拆卸连接，用作安装盘环的定位基准；定位杆为长度可伸缩设置。本申请提供的安装治具的操作便捷性佳，且普适性和灵活性强。
主权项：1.一种用于电吸盘的盘环，其特征在于，所述盘环的材料为耐腐蚀的弹性材料；所述盘环包括内侧的安装面和外侧的使用面，所述安装面上设有至少两个定位结构，所述至少两个定位结构在所述盘环的周向上以第一分布方式布置；在装配状态下，所述盘环套接在所述电吸盘的界面沟槽中，所述至少两个定位结构以所述第一分布方式沿所述电吸盘周向布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东芯(苏州)科技有限公司 一种用于电吸盘的盘环及其安装治具
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