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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供一种量化触发清洁模式的CVD装置，包括反应腔、压力反馈单元和远程清洁控制单元，反应腔内设置有加热盘；压力反馈单元包括探针式压力计和驱动组件，探针式压力计至少设置有一个，驱动组件设置于探针式压力计的下方，用于驱动探针式压力计上下移动，并对加热盘边缘所沉积的沉积膜和或反应腔内壁所沉积的沉积膜进行压力测试；远程清洁控制单元与压力反馈单元通讯连接，用于采集探针式压力计的测试结果并分析处理。本实用新型中的CVD装置可以精准把控对反应腔腔室的清洁模式开启，减少空载；况且，本实用新型中的CVD装置可以直接通过沉积膜的厚度触发清洁模式，既不会造成过度清洁，又能够有效提高晶圆的生产效率。
主权项：1.一种量化触发清洁模式的CVD装置，其特征在于，所述CVD装置包括：反应腔，所述反应腔内设置有加热盘，所述加热盘用于承载晶圆；压力反馈单元，所述压力反馈单元包括探针式压力计和驱动组件，所述探针式压力计至少设置有一个，所述驱动组件设置于所述探针式压力计的下方，用于驱动所述探针式压力计在所述加热盘外围区域上下移动，并对所述加热盘边缘所沉积的沉积膜和或所述反应腔内壁所沉积的沉积膜进行压力测试；远程清洁控制单元，所述远程清洁控制单元与所述压力反馈单元通讯连接，所述远程清洁控制单元用于采集所述探针式压力计的测试结果并分析处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 一种量化触发清洁模式的CVD装置
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