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【实用新型】一种吸附垫抛光装置_东莞市盈鑫半导体材料有限公司_202322670281.9 

申请/专利权人:东莞市盈鑫半导体材料有限公司

申请日:2023-10-07

公开(公告)日:2024-06-11

公开(公告)号:CN221111248U

主分类号:B24B29/02

分类号:B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/12

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.11#授权

摘要:本实用新型涉及抛光装置技术领域,具体是指一种吸附垫抛光装置。包括底板,底板上方设有工作台,底板与工作台之间通过多个立柱一固定连接,工作台上方设有顶板,工作台与顶板之间通过立柱二固定连接,底板上设有抽风机,工作台上设有多个吸附盘,抽风机的抽风端与吸附盘通过管道相连接,顶板上设有电机,电机的输出端设有主动齿轮,主动齿轮外侧设有多个从动齿轮,从动齿轮底部固定连接有贯穿通过顶板的伸缩杆,伸缩杆的活动端固定连接有抛光盘。本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的技术问题,提供一种吸附垫抛光装置。

主权项:1.一种吸附垫抛光装置,包括底板1,其特征在于:所述底板1上方设有工作台2,所述底板1与工作台2之间通过多个立柱一3固定连接,所述工作台2上方设有顶板4,所述工作台2与顶板4之间通过立柱二5固定连接,所述底板1上设有抽风机6,所述工作台2上设有多个吸附盘7,所述抽风机6的抽风端与吸附盘7通过管道相连接,所述顶板4上设有电机8,所述电机8的输出端设有主动齿轮9,所述主动齿轮9外侧设有多个从动齿轮10,所述从动齿轮10底部固定连接有贯穿通过顶板4的伸缩杆11,所述伸缩杆11的活动端固定连接有抛光盘12。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东莞市盈鑫半导体材料有限公司 一种吸附垫抛光装置

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