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申请/专利权人：中科宏芯(常州)传感科技有限公司
申请日：2023-11-24
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN221123323U
主分类号：G01B11/06
分类号：G01B11/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权
摘要：本实用新型属于测厚仪技术领域，具体涉及一种非接触式测厚仪，这种非接触式测厚仪包括：底座、设于底座上的支撑轴和设置支撑轴上的载物台，所述载物台上放置碲锌镉晶片；所述底座上设置有位置移动机构；所述底座的两侧设置有上光源撑轴，两个所述上光源撑轴之间连接有上光源固定板，所述上光源支撑板上设置有上光源体。这种非接触式测厚仪具有通过非接触式共焦位移传感器来测量厚度，通过在样品上照射激光，将激光反射回来的信号与原始激光信号进行干涉，从而测量样品上任意点的位移。这种传感器的原理基于共焦法，能够在不破坏样品的情况下实现非接触式测量，测量精度高、稳定度高、测量速度快的效果。
主权项：1.一种非接触式测厚仪，其特征在于，包括：底座1、设于底座1上的支撑轴11和设置支撑轴11上的载物台2，所述载物台2上放置碲锌镉晶片；所述底座1上设置有位置移动机构3；所述底座1的两侧设置有上光源撑轴12，两个所述上光源撑轴12之间连接有上光源固定板13，所述上光源固定板上设置有上光源体14；所述位置移动机构3包括设于底座1上的移动块4，所述移动块4上设置有横向位移件5和纵向位移件6，所述横向位移件5和纵向位移件6的移动端连接于中间块63，所述中间块63上设置有高度调节件9，所述高度调节件9的移动端连接有下光源固定器91，所述下光源固定器91固定有下光源体92。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科宏芯(常州)传感科技有限公司 一种非接触式测厚仪
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