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申请/专利权人：珠海恒格微电子装备有限公司
申请日：2024-04-01
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118201232A
主分类号：H05K3/06
分类号：H05K3/06;H05K3/26;H05K3/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开的双腔PCB板处理机，包括两个同步进出料移送装置和双腔等离子处理装置，两个同步进出料移送装置分别将板框横移至上下料区、以及通过自动机械手将输送的多个待加工PCB板放置于板框上锁紧固定，并沿水平方向横移进给送料至一个腔室的蚀刻加工单元或一个腔室的清洗加工单元；双腔等离子处理装置采用两个工位依次替换工作的等离子刻蚀腔和等离子清洗腔，通过两个腔室分别对板框锁紧固定的多个PCB板进行循环替换的刻蚀加工和清洗加工，实现多个PCB板的自动上料和自动下料，并根据工艺要求分步进行刻蚀和清洗加工，有效提高生产效率。
主权项：1.双腔PCB板处理机，用于多个PCB板同步的进行刻蚀及清洗加工的自动上料和自动下料，其特征在于，包括：两个同步进出料移送装置，分别用于将板框横移至上下料区、以及通过自动机械手将输送的多个待加工PCB板放置于板框上锁紧固定，并沿水平方向横移进给送料至一个腔室的蚀刻加工单元或一个腔室的清洗加工单元；或者将蚀刻或清洗加工后板框及其多个PCB板横移出加工单元、并在上下料区将板框上多个加工后PCB板直接解除锁紧后、通过自动机械手直接下料输出；双腔等离子处理装置，采用水平并列布局的两个工位依次替换工作的等离子刻蚀腔和等离子清洗腔，通过两个所述同步进出料移送装置分别对等离子刻蚀腔或等离子清洗腔进行同步的上下料后横向进出料控制，对板框锁紧固定的多个PCB板进行循环替换的刻蚀加工和清洗加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海恒格微电子装备有限公司 双腔PCB板处理机
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