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申请/专利权人：株式会社安川电机
申请日：2020-11-11
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118199357A
主分类号：H02K29/08
分类号：H02K29/08;H02K5/16;H02K11/215
优先权：["20191114 JP 2019-206489"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达M1具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件73；将第一回转轴部件73支承为能够旋转的轴承97；盘145，其能够与第一回转轴部件73一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承97的第一托架95；薄壁部185形成于第一托架95；和传感器单元147，其隔着薄壁部185而与盘145在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元147且成为大气压的空间和配置盘145且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部185隔绝。
主权项：1.一种真空用机器人，其特征在于，该真空用机器人具备：真空用马达；和由所述真空用马达驱动的臂；所述真空用马达具有：轴，其在轴向上延伸设置；轴承，其将所述轴支承为能够旋转；盘，其被配置为能够与所述轴一起旋转，且所述盘形成有缝隙；轴承支承部件，其由非磁性材料构成，支承所述轴承；薄壁部，其形成于所述轴承支承部件；以及磁式传感器，其被配置为隔着所述薄壁部与所述盘在所述轴向上对置，对所述缝隙进行检测，配置所述磁式传感器且成为大气压的空间与配置所述盘且被减压为比所述大气压低的压力的空间被包含所述薄壁部的所述轴承支承部件隔绝。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社安川电机 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器
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