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申请/专利权人：吉林大学;大连理工大学
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118198176A
主分类号：H01L31/115
分类号：H01L31/115;H01L31/0304;H01L31/0352;B82Y30/00;B82Y40/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本专利涉及核探测技术领域，涉及一种六方氮化硼纳米片α粒子探测器，具体涉及一种商用氮化硼微粉经简单处理后定向堆叠制备独立式定向堆叠的六方氮化硼片层作为α粒子探测器的探测层，并在侧端制备不阻挡辐照与探测层相互作用的横向电极以实现α粒子探测的方法。所制备的探测器具有极低的暗电流，器件性能优异。本发明方法可以简化探测器制作工艺，降低制作成本；探测层厚度可控，能够有效提高探测器的效率。对于六方氮化硼基α粒子探测器件具有重要意义。
主权项：1.一种六方氮化硼纳米片α粒子探测器，其特征在于，器件结构包括：1陶瓷基板、2固定在陶瓷基板1上的定向堆叠的六方氮化硼纳米片、3形成在定向堆叠的六方氮化硼纳米片2侧端的一对横向电极；所述定向堆叠的氮化硼纳米片2为α粒子探测层，α粒子在其中产生电子-空穴对，在外加偏压下形成信号电流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学;大连理工大学 一种六方氮化硼纳米片α粒子探测器
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皖公网安备 34010402703815号