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半导体存储器件 

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申请/专利权人:三星电子株式会社

摘要:一种半导体存储器件,包括:衬底,包括在存储单元区中的多个有源区;多个位线结构,在存储单元区中沿第一水平方向彼此平行地延伸;多个掩埋接触部,分别电连接到有源区,并且部分地填充位线结构之间的空间;多个下着接焊盘,在位线结构之间的空间中,并且分别在掩埋接触部上;着接焊盘绝缘结构,与位线结构和下着接焊盘接触,并且包括多个着接焊盘孔;多个上着接焊盘,分别填充着接焊盘孔,并且分别连接到下着接焊盘;以及多个电容器结构。

主权项:1.一种半导体存储器件,包括:衬底,包括在存储单元区中的多个有源区;多个位线结构,在所述存储单元区中沿第一水平方向彼此平行地延伸;多个掩埋接触部,分别电连接到所述多个有源区,所述多个掩埋接触部部分地填充所述多个位线结构之间的空间;多个下着接焊盘,在所述多个位线结构之间的空间中,并且分别在所述多个掩埋接触部上;着接焊盘绝缘结构,与所述多个位线结构和所述多个下着接焊盘接触,所述着接焊盘绝缘结构包括多个着接焊盘孔;多个上着接焊盘,分别填充所述多个着接焊盘孔,并且分别连接到所述多个下着接焊盘;以及多个电容器结构,包括多个下电极、上电极、以及在所述多个下电极和所述上电极之间的电容器介电层,所述多个下电极分别电连接到所述多个上着接焊盘。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 半导体存储器件

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