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申请/专利权人：昂图创新有限公司
申请日：2022-09-15
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118202452A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;G06N3/0464;G06N3/08;G06T7/70;G05B19/402
优先权：["20210915 US 17/476,195"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：各种示例包括映射衬底载体内的衬底例如，诸如晶圆盒内的硅晶圆的系统和网络，每个衬底的状态的分类，以及衬底所放置的载体。在本文所提供的各种示例中，图像获取系统诸如相机获取载体内的衬底的多个图像。然后用深度卷积神经网络处理一个或多个图像，以相对于包括空槽、占用槽例如，适当装载的槽、双装载槽、交叉槽和突出槽其中衬底没有完全装载到槽中的衬底槽来对衬底的状态进行分类。
主权项：1.一种用于对衬底载体中的多个位置内的多个衬底的状态进行分类的方法，所述方法包括：检测所述衬底载体中的所述多个衬底的至少一部分，所述检测包括捕获所述多个衬底的所述部分和接近所述多个衬底的所述部分的所述多个位置的一个或多个图像；将所述一个或多个图像传输到预训练的深度卷积神经网络；使用所述预训练的深度卷积神经网络，根据所述一个或多个图像对所述衬底载体内的所述多个位置内的所述多个衬底的所述部分的所述状态进行分类；以及提供所述衬底载体内接近所述多个衬底的所述部分的所述多个位置中的每个位置的自动标记。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昂图创新有限公司 使用深度神经网络的衬底映射
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