龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日：2022-12-13
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118180074A
主分类号：B08B9/087
分类号：B08B9/087;B08B13/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请提供一种分子束外延设备生长室组件，包括腔体、衬底支架、源炉坩埚、第一挡板、衬板和第一盖体组件；衬底支架连接有待镀膜件；源炉坩埚朝向安装于腔体；源炉坩埚用于向处于衬底支架的待镀膜件镀膜；第一挡板可转动地连接于衬底支架；第一盖体组件设置于腔体的底部；第一盖体组件包括第一盖体和第一清洁件，第一盖体安装于腔体的底部，并盖合腔体的底部；第一清洁件可伸缩地连接于第一盖体，并朝向第一挡板移动，以便于第一清洁件清洁处于第一挡板及衬底支架上的膜渣，并且保证处于第一挡板的膜渣的掉落至腔体底部，避免处于第一挡板的膜渣影响待镀膜件的工作环境，并且脱离第一挡板的膜渣掉落至衬板，衬板承接脱离第一挡板的膜渣。
主权项：1.一种分子束外延设备生长室组件，其特征在于，包括：腔体，设有圆锥部；衬底支架，安装于所述腔体，并容纳于所述腔体内；所述衬底支架连接有待镀膜件；源炉坩埚，安装于所述腔体，并朝向所述衬底支架；所述源炉坩埚用于向处于所述衬底支架的所述待镀膜件镀膜；第一挡板，可转动地连接于所述衬底支架，并遮盖经镀膜后的所述待镀膜件；多个衬板，环形铺设于所述圆锥部，并相互贴合；第一盖体组件，设置于所述腔体的底部；所述第一盖体组件包括第一盖体和第一清洁件，所述第一盖体安装于所述腔体的底部，并盖合所述腔体的底部；所述第一清洁件可伸缩地连接于所述第一盖体，并朝向所述第一挡板移动，以清洁处于所述第一挡板的膜渣和处于所述待镀膜件的膜渣，使得膜渣掉落至所述衬板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 一种分子束外延设备生长室组件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号