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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明公开了一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法，解决了衍射光学元件在各个装调工序后直接检测面形成本太大的技术问题。具体包括均为环形的衍射镜框定心座、检测镜筒及检测隔圈；衍射镜框定心座的外壁为台阶状，形成第一环形面和第二环形面；衍射镜框定心座上靠近第二环形面的端面用于安装衍射镜框；检测镜筒的内壁为台阶状，形成轴线为同一直线的第一定心加工面和第二定心加工面；第一定心加工面与第二环形面的直径相匹配；第二定心加工面与补偿镜框的外壁直径相匹配；检测隔圈套装在第二环形面外。通过该定心装调装置进行检测，大幅度降低了检测成本。

主权项：1.一种衍射光学元件的定心装调装置，用于折衍混合组件，所述折衍混合组件包括镜筒和套设在镜筒内的衍射镜组及补偿镜组；所述衍射镜组包括衍射镜框1和安装在衍射镜框1内的衍射光学元件2；所述补偿镜组包括补偿镜框3和安装在补偿镜框3内的补偿镜；所述补偿镜框3外壁上设有外凸环31；其特征在于：包括均为环形的衍射镜框定心座4、检测镜筒5以及检测隔圈6；所述衍射镜框定心座4的数量为N，N≥4；所述衍射镜框定心座4的外壁为台阶状，形成第一环形面41和第二环形面42，所述第一环形面41和第二环形面42之间为第一台阶面43；所述第一环形面41的直径大于第二环形面42的直径；所述第二环形面42的直径大于衍射镜框1的外径；所述衍射镜框定心座4上靠近第二环形面42的端面用于安装衍射镜框1；所述检测镜筒5的内壁为台阶状，形成轴线为同一直线的第一定心加工面51和第二定心加工面52；所述第一定心加工面51和第二定心加工面52之间为第二台阶面53；所述第一定心加工面51的直径大于第二定心加工面52的直径，并与第二环形面42的直径相匹配；所述第二定心加工面52的直径与所述补偿镜框3的外壁直径相匹配，使得补偿镜框3能够伸入检测镜筒5；所述第一定心加工面51的轴向长度大于第二环形面42和衍射镜框1的轴向长度之和；所述第二定心加工面52的轴向长度大于或等于补偿镜框3与外凸环31的轴向长度之差；所述检测隔圈6套装在第二环形面42外，其一端与第一台阶面43紧贴，另一端用于与检测镜筒5上靠近第一定心加工面51的端面紧贴。

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