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申请/专利权人：中山智隆新材料科技有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186351A
主分类号：C23C14/34
分类号：C23C14/34
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请属于贵金属溅射靶材技术领域，本申请公开了一种磁控溅射用镍铂合金靶材的制备方法。本申请中的磁控溅射用镍铂合金靶材的制备方法包括以下步骤：（1）将镍粉和铂粉混合并球磨；（2）热压烧结；（3）熔炼；（4）轧制；（5）退火后进行外形加工制得镍铂合金靶材。本申请制得的磁控溅射用镍铂合金靶材的内部晶粒结构均匀、致密度高，镍铂合金靶材成品率高、晶粒细小溅射更稳定，有利于获得厚度均匀的高质量薄膜。
主权项：1.一种磁控溅射用镍铂合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将镍粉和铂粉的混合粉末进行球磨，制得混合粉末；S2、在混合粉末中加入粘结剂，压制形成生坯，进行热压烧结，冷却，制得预烧结合金锭；S3、将步骤S2中制得的预烧结合金锭进行剪切，制得合金片；将合金片置于高纯氧化铝坩埚，进行真空感应熔炼，铸模，制得镍铂合金；S4、将步骤S3中制得的镍铂合金进行温轧轧制；S5、将步骤S4处理后的镍铂合金进行退火处理，冷却后进行加工处理制得镍铂合金靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山智隆新材料科技有限公司 一种磁控溅射用镍铂合金靶材及制备方法
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