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申请/专利权人：北京莱伯泰科仪器股份有限公司
申请日：2024-04-28
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197899A
主分类号：H01J49/10
分类号：H01J49/10;H01J49/06;H01J49/26
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明提供了一种高效安装及拆卸的离子源装置，由固定组和可拆卸组两部分组成，固定组包括：离子源固定装置、磁铁装置一、磁铁装置二、加热装置、测温装置和电极组；可拆卸组包括：离子源体、插座、手拧固紧钉一、手拧固紧钉二。由于离子源整体结构简单，离子源可以整体安装，不需要单独接透镜电极线，因此用户仅需要接插灯丝与斥极透镜的线，将需要插接的导线集成在一个插头上，大大简化了离子源安装及拆解过程。同时，固定斥极透镜与灯丝的方式采用了卡簧的方式，压紧透镜的方式也设置成旋转卡扣的方式，不需要借助工具即可完成拆装。离子源固定架上设置有安装导向轴，清洗完成后的离子源体可以快速精确地安装到仪器中。
主权项：1.一种高效安装及拆卸的离子源装置，其特征在于，由固定组和可拆卸组两部分组成，固定组包括：离子源固定装置、磁铁装置一、磁铁装置二、加热装置和电极组；可拆卸组包括：离子源体、插座、手拧固紧钉一、手拧固紧钉二；所述磁铁装置一、磁铁装置二、加热装置以及电极组固定于所述离子源固定装置，所述离子源体插入所述离子源固定装置中，用所述手拧固紧钉一以及手拧固紧钉二固定，所述插座固定于所述离子源体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京莱伯泰科仪器股份有限公司 高效安装及拆卸的离子源装置
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